磁流体密封件

产品简介

磁流体密封（Ferrofluid Seal）利用磁性液体在磁场作用下形成的液态密封环，实现高真空环境下旋转轴的低泄漏动态密封，具有密封可靠、无磨损、寿命长的特点。

产品系列

• 单轴磁流体密封（Single-Axle Feedthrough）
• 多轴磁流体密封（Multi-Axle Feedthrough）
• 空心轴磁流体密封（Hollow-Axle Feedthrough）
• 水冷磁流体密封（Water-Cooling Feedthrough）
• 特殊定制密封（Special Feedthrough）

产品优势

• 泄漏率极低，满足高真空要求
• 无接触密封，无机械磨损，使用寿命长
• 低摩擦转矩，运行平稳
• 支持按应用场景定制设计

应用领域

真空镀膜设备、半导体设备（PECVD 等）、液晶面板生产线、科研仪器、真空机器人等高端装备。