2026-08-31 Bài viết gốc
Vòng bịt kín ferrofluid, còn được gọi là vòng bịt kín quay bằng chất lỏng từ, tạo ra một rào cản vật lý bằng cách sử dụng ferrofluid được giữ lơ lửng bởi một nam châm vĩnh cửu. Kể từ khi được phát triển vào những năm 1970, các thiết bị này đã được sử dụng trong các lĩnh vực chuyên biệt bao gồm ổ đĩa máy tính và hệ thống chân không. Trong thiết bị ăn mòn, chúng hoạt động như các cổng xuyên quay, truyền chuyển động quay vào buồng chân không. Điều này cho phép các quy trình như xử lý wafer hoặc quay nguồn trong khi duy trì môi trường kín cần thiết cho sản xuất chất bán dẫn và màn hình phẳng.
Các quy trình ăn mòn và lắng đọng đặt ra yêu cầu nghiêm ngặt đối với các thành phần cổng xuyên. Mỗi sự kết hợp vật liệu xây dựng và đặc điểm thiết kế đều có giới hạn thực tế về nhiệt độ, áp suất chênh lệch, tốc độ và tải trọng tác dụng. Các thiết bị phải được thiết kế để đáp ứng tiêu chí ứng dụng cụ thể. So với vòng bịt kín dầu thông thường, cổng xuyên chất lỏng từ mang lại hiệu suất bịt kín vượt trội với tốc độ rò rỉ cực thấp. Bản chất bịt kín không tiếp xúc của chúng cũng làm giảm mài mòn cơ học và tạo hạt, điều cần thiết để duy trì môi trường chân không sạch.
Để hoạt động đáng tin cậy trong thiết bị ăn mòn, các thiết kế bịt kín tiêu chuẩn thường cần được sửa đổi. Các tính năng cần thiết có thể bao gồm nhiều tầng ferrofluid để tăng khả năng giữ áp suất, tích hợp làm mát bằng nước để quản lý nhiệt, và sử dụng vật liệu tùy chỉnh hoặc đặc biệt. Cấu hình thân ren gắn đai ốc là một cách tiếp cận thiết kế cho phép tích hợp an toàn vào khung thiết bị và ống góp. Giao diện cơ học này phải chịu được rung động và tải trọng vận hành trong khi vẫn bảo toàn tính toàn vẹn của vòng bịt kín.
Việc sử dụng các vòng bịt kín này mở rộng across nhiều lĩnh vực sản xuất công nghệ cao. Chúng được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, màn hình phẳng, đèn LED và pin mặt trời. Trong chế tạo chất bán dẫn, chúng chủ yếu được dùng trong các công cụ quy trình ăn mòn và lắng đọng. Công nghệ này chiếm một phần cốt lõi trong nguồn cung cho các ngành này, cho thấy vị trí đã được thiết lập của nó trong các ứng dụng chân không chính xác nơi cần truyền chuyển động đáng tin cậy, ít nhiễm bẩn.