2026-07-27 Bài viết gốc
Trong sản xuất chất bán dẫn và màn hình phẳng, robot xử lý tấm wafer trong môi trường chân không hoạt động trong điều kiện không cho phép nhiễm bẩn. Các loại phớt cơ khí truyền thống thường không đáp ứng được trong điều kiện tốc độ cao, nhạy cảm với nhiễm bẩn này. Theo một bài báo kỹ thuật trên Tạp chí Cơ khí Trung Quốc, có yêu cầu nghiêm ngặt về làm kín đối với robot xử lý tấm wafer làm việc trong môi trường chân không. Các thông số của kết cấu làm kín bằng chất lỏng từ rất quan trọng trong thiết kế robot chân không. Điều này tạo ra nhu cầu rõ ràng về một công nghệ làm kín khác.
Các bộ xuyên chân không dùng chất lỏng từ sử dụng ferrofluid làm cơ chế làm kín để truyền chuyển động quay vào buồng chân không. So với các loại phớt đa dụng thông thường như phớt dầu, chúng mang lại hiệu suất làm kín vượt trội cho hệ thống chân không. Một ưu điểm lớn là khả năng làm kín không tiếp xúc nhờ chất lỏng từ. Công nghệ này giúp giảm mài mòn và phát sinh hạt, góp phần trực tiếp duy trì môi trường chân không sạch. Các báo cáo ngành cho thấy những loại phớt này được sử dụng rộng rãi trong hệ thống chân không cho ngành bán dẫn và FPD như các bộ phận làm kín quay.
Các đặc tính kỹ thuật của phớt chất lỏng từ phù hợp tốt với nhu cầu của robot. Bài báo trên Tạp chí Cơ khí Trung Quốc nêu rằng những loại phớt này có đặc tính độc đáo là độ kín khí cao, yêu cầu mô-men ma sát tối thiểu, không gây ô nhiễm và có tuổi thọ dài. Mô-men ma sát tối thiểu đặc biệt có giá trị đối với robot vì nó cho phép điều khiển chuyển động chính xác hơn và tiết kiệm năng lượng hơn. Tuổi thọ dài và độ tin cậy cao giúp ngăn ngừa thời gian ngừng hoạt động ngoài kế hoạch, vốn rất tốn kém trong các quy trình sản xuất liên tục.
Bộ xuyên chân không dùng chất lỏng từ trục rỗng là một biến thể cụ thể của công nghệ này. Nó cho phép các tiện ích—như dây điện, cảm biến hoặc đường làm mát—đi qua tâm trục quay trong khi vẫn duy trì độ kín chân không. Thiết kế này hữu ích cho robot cần truyền tín hiệu hoặc nguồn điện đến bộ tác động cuối. Việc lựa chọn bộ xuyên phù hợp không chỉ là về thông số kỹ thuật. Đó là về việc đảm bảo tích hợp trơn tru để ngăn ngừa thời gian ngừng hoạt động và duy trì độ tinh khiết của quy trình trong môi trường chân không khắt khe. Biến thể trục rỗng giải quyết một thách thức cụ thể về bố trí và chức năng trong các cánh tay robot phức tạp.