2026-08-17 원문 기사
자기유체 회전 진공 피드스루는 회전 운동을 진공 챔버 내부로 전달합니다. 밀봉 메커니즘은 영구 자석에 의해 고정된 자기 유체에 의존합니다. 박막 증착 공정에서 이는 대기와 공정 챔버 사이에 신뢰할 수 있는 장벽을 생성합니다. 이 밀봉의 무결성은 화학 기상 증착(CVD) 및 물리 기상 증착(PVD)과 같은 공정에서 필수적입니다. 이러한 방법은 태양광 패널부터 마이크로전자공학 장치에 이르기까지 다양한 기기의 현대 코팅 기술의 기초를 형성합니다.
업계 문서에는 이러한 밀봉의 특정 적용 분야가 명시되어 있습니다. 이는 고온 공정에 진공 무결성이 필요한 단결정 실리콘 퍼니스의 반도체 제조에 사용됩니다. 또한 밀봉은 반응기에 누출 없는 환경을 유지하기 위해 CVD 시스템에도 적용됩니다. PVD 장비에서는 박막 증착을 위한 정밀 밀봉을 제공합니다. 또 다른 주요 분야는 오염 없는 공정이 필요한 평판 디스플레이(FPD) 생산입니다. 태양광 패널용 광전지 생산도 명시된 적용 분야입니다.
3개의 비동축 샤프트를 갖춘 피드스루는 단일 진공 포트 내에서 복잡한 운동에 대한 명확한 요구를 해결합니다. 이 설계는 회전, 높이 조절, 기울기 조절이 가능한 기판 홀더를 수용할 수 있습니다. 일부 코팅 시스템은 균일한 박막 증착을 위한 행성 회전 스테이지를 갖추고 있습니다. 하나의 컴팩트한 유닛에 3개의 독립 드라이브를 통합하면 진공 챔버의 귀중한 플랜지 공간을 절약할 수 있습니다. 또한 필요한 개별 피드스루 수를 줄여 기계적 설계를 단순화합니다.
이러한 시스템의 목표는 시편에 정밀한 박막 증착을 수행하는 것입니다. 이를 통해 특정 최종 제품을 위한 혁신적인 박막 제조가 가능해집니다. 업계 소식통은 태양전지, 배터리, 마이크로전자공학 장치를 언급합니다. 관련 장비에는 프로그래밍 가능한 코팅 공정을 위한 7인치 컬러 터치스크린과 USB 데이터 전송 기능이 포함되는 경우가 많습니다. 이러한 시스템의 선택적 추가 기능에는 RF 스퍼터링 기능과 글로우 방전 플라즈마 로드가 포함될 수 있습니다. 안전성과 신뢰성은 CE와 같은 인증 및 글로벌 제품 책임 보험으로 뒷받침됩니다.