การออกแบบฟีดทรูสามเพลาส่งผลต่อระบบการสะสมฟิล์มบางอย่างไร

การส่งผ่านการเคลื่อนที่เข้าสู่สภาพแวดล้อมสุญญากาศ

Ferrofluid rotary vacuum feedthroughs ส่งผ่านการเคลื่อนที่แบบหมุนเข้าสู่ห้องสุญญากาศ กลไกการซีลอาศัยของเหลวแม่เหล็กที่ถูกยึดไว้ด้วยแม่เหล็กถาวร ในการเคลือบฟิล์มบาง สิ่งนี้สร้างเกราะป้องกันที่เชื่อถือได้ระหว่างบรรยากาศและห้องกระบวนการ ความสมบูรณ์ของซีลนี้ไม่สามารถต่อรองได้สำหรับกระบวนการเช่น Chemical Vapor Deposition (CVD) และ Physical Vapor Deposition (PVD) วิธีการเหล่านี้เป็นรากฐานของเทคโนโลยีการเคลือบสมัยใหม่สำหรับอุปกรณ์ตั้งแต่แผงโซลาร์เซลล์ไปจนถึงไมโครอิเล็กทรอนิกส์

ความต้องการการใช้งานในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และจอแสดงผล

เอกสารอุตสาหกรรมแสดงพื้นที่การใช้งานเฉพาะสำหรับซีลเหล่านี้ ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สำหรับเตาเผาซิลิคอนผลึกเดี่ยว ซึ่งต้องการความสมบูรณ์ของสุญญากาศสำหรับกระบวนการที่อุณหภูมิสูง ซีลเหล่านี้ยังใช้ในระบบ CVD เพื่อรักษาสภาพแวดล้อมที่ปราศจากการรั่วไหลสำหรับเครื่องปฏิกรณ์ ในอุปกรณ์ PVD ให้การซีลที่แม่นยำสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง พื้นที่หลักอีกแห่งคือการผลิต Flat Panel Display (FPD) ซึ่งต้องการกระบวนการที่ปราศจากการปนเปื้อน การผลิตโฟโตวอลเทอิกสำหรับแผงโซลาร์เซลล์ก็เป็นแอปพลิเคชันที่ระบุไว้เช่นกัน

เหตุผลสำหรับเพลาอิสระหลายเพลา

feedthrough ที่มีสามเพลาแบบ non-coaxial ตอบสนองความต้องการที่ชัดเจนสำหรับการเคลื่อนที่ที่ซับซ้อนภายในพอร์ตสุญญากาศเดียว การออกแบบนี้สามารถรองรับตัวจับชิ้นงานที่หมุนได้ ปรับความสูงได้ และปรับเอียงได้ ระบบเคลือบบางระบบมีขั้นตอนการหมุนแบบ planetary สำหรับการเคลือบฟิล์มที่สม่ำเสมอ การมีไดรฟ์อิสระสามตัวในหน่วยขนาดกะทัดรัดเดียวช่วยประหยัดพื้นที่หน้าแปลนอันมีค่าบนห้องสุญญากาศ นอกจากนี้ยังทำให้การออกแบบเชิงกลง่ายขึ้นโดยลดจำนวน feedthrough แต่ละตัวที่ต้องการ

สนับสนุนการผลิตที่แม่นยำและสร้างสรรค์

เป้าหมายของระบบเหล่านี้คือการเคลือบฟิล์มบางที่แม่นยำบนชิ้นงานทดสอบ สิ่งนี้ช่วยให้การผลิตฟิล์มบางที่สร้างสรรค์สำหรับผลิตภัณฑ์ปลายทางเฉพาะ แหล่งข้อมูลอุตสาหกรรมชี้ไปที่เซลล์แสงอาทิตย์ แบตเตอรี่ และอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องมักมีคุณสมบัติเช่นหน้าจอสัมผัสสีขนาด 7 นิ้วสำหรับกระบวนการเคลือบที่ตั้งโปรแกรมได้และการถ่ายโอนข้อมูลผ่าน USB อุปกรณ์เสริมเพิ่มเติมสำหรับระบบเหล่านี้สามารถรวมความสามารถ RF sputtering และแท่งพลาสมา glow discharge ความปลอดภัยและความน่าเชื่อถือได้รับการสนับสนุนโดยการรับรองเช่น CE และความคุ้มครองความรับผิดต่อผลิตภัณฑ์ทั่วโลก