2026-07-20 Bài viết gốc
Vận hành thiết bị ăn mòn liên quan đến quay tốc độ cao và duy trì chân không cao. Những điều kiện này tạo ra nhiệt đáng kể tại điểm trục quay đi vào buồng chân không. Một đầu xuyên quay chất lỏng từ cung cấp phớt cần thiết, nhưng hiệu suất của nó có thể giảm nếu nhiệt đó không được kiểm soát. Đây là lúc làm mát bằng nước trở thành một cân nhắc kỹ thuật trực tiếp. Theo lịch sử của một nhà sản xuất, phớt chất lỏng từ được thiết kế để sử dụng trong các điều kiện khắt khe bao gồm quay tốc độ cao, duy trì chân không cao và làm mát bằng nước. Việc tích hợp làm mát trực tiếp giải quyết tải nhiệt, một thách thức dai dẳng trong các hệ thống này.
Công nghệ này có lịch sử lâu dài trong sản xuất chính xác. Nguồn gốc thương mại của đầu xuyên chất lỏng từ bắt đầu từ năm 1952 với sự phát triển của máy phát tia X cực dương quay. Sản xuất phớt chất lỏng từ chuyên dụng bắt đầu sau đó, vào năm 1978, để sử dụng trong máy nhiễu xạ tia X. Kinh nghiệm tích lũy từ những ứng dụng ban đầu này đã đặt nền tảng cho việc sử dụng chúng trong các quy trình công nghiệp hiện đại hơn. Ngày nay, phớt chân không sử dụng ferrofluid để cho phép truyền chuyển động quay được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, màn hình phẳng, LED và pin mặt trời. Chúng chủ yếu được sử dụng trong các quy trình ăn mòn và lắng đọng của chế tạo chất bán dẫn.