2026-09-05 Bài viết gốc
Trong thiết bị nuôi cấy epitaxy, việc duy trì chân không là điều bắt buộc. Bơm chân không hút không khí ra ngoài, và đồng hồ đo chân không giám sát áp suất để đảm bảo đạt được mức yêu cầu. Môi trường này rất cần thiết để sản xuất các lớp bán dẫn chất lượng cao. Phớt kín ferrofluid là công nghệ chính để duy trì trạng thái chân không này. Nó ngăn chặn rò rỉ khí ngay cả khi trục bên trong đang quay, cho phép truyền chuyển động vào buồng chân không mà không phá vỡ phớt kín.
Động lực hướng tới các bán dẫn công suất hiệu quả hơn dựa vào các vật liệu như silicon carbide (SiC) và gallium nitride (GaN). Các kỹ thuật nuôi cấy epitaxy được cải tiến cho những vật liệu này được kỳ vọng sẽ thúc đẩy hiệu suất thiết bị. Sự tiến bộ này đặt ra yêu cầu cao hơn đối với các linh kiện hỗ trợ. Đầu xuyên phải hoạt động đáng tin cậy trong các điều kiện khắc nghiệt, cung cấp phớt kín kín khí cho các trục quay. Hơn ba thập kỷ phát triển chuyên biệt về công nghệ đầu xuyên chất lỏng từ tính là cần thiết để đáp ứng các tiêu chuẩn độ tin cậy đặc biệt cao trong lĩnh vực này.
Việc chọn loại phớt kín ferrofluid phù hợp phụ thuộc vào ứng dụng cụ thể. Đối với các lò phản ứng epitaxy nhiều trạm, thiết kế ba trục cho phép truyền chuyển động phức tạp. Công nghệ này phải xử lý được môi trường nhiệt và hóa học hiện diện trong quá trình nuôi cấy. Những đổi mới gần đây từ các tổ chức như Trung tâm Vũ trụ Kennedy của NASA tập trung vào các đầu xuyên cho môi trường và nhiệt độ khắc nghiệt, cho thấy xu hướng công nghiệp rộng lớn hơn hướng tới các giải pháp làm kín bền bỉ hơn. Triết lý thiết kế này áp dụng trực tiếp cho các điều kiện khắc nghiệt bên trong buồng epitaxy.
Chúng tôi phát triển và cung cấp các đầu xuyên chuyên dụng này cho các ứng dụng sản xuất tiên tiến.