เพลากลวงซีลแม่เหล็กสำหรับระบบป้อนของเหลวในอุปกรณ์ PECVD และ CVD

การส่งผ่านการเคลื่อนที่เข้าสู่ห้องสุญญากาศ

ในอุปกรณ์ PECVD และ CVD การสร้างฟิล์มบางต้องอาศัยการเคลื่อนที่เชิงกลที่แม่นยำภายในห้องสุญญากาศ ฟีดทรูแม่เหล็กเหลวแบบเพลากลวงเป็นวิธีหนึ่งที่ใช้สำหรับสิ่งนี้ เป็นฟีดทรูหมุนแบบแม่เหล็กเหลวชนิดหนึ่งสำหรับงานสุญญากาศ กลไกหลักใช้เฟอร์โรฟลูอิดเป็นองค์ประกอบการซีล ก่อให้เกิดการซีลแบบไดนามิกและสุญญากาศรอบเพลาหมุน ระบบนี้ส่งผ่านการเคลื่อนที่แบบหมุนเข้าสู่ห้องสุญญากาศโดยไม่ทำลายความสมบูรณ์ของการซีล

แนวคิดพื้นฐานสำหรับการซีลเหล่านี้เริ่มบุกเบิกในทศวรรษ 1970 วิศวกรสร้างโอริงเหลวรอบเพลาหมุนโดยใช้เฟอร์โรฟลูอิด และจดสิทธิบัตรเวอร์ชันเชิงพาณิชย์รุ่นแรกๆ เป็นเวลากว่าสี่สิบปีที่ทีมออกแบบและผลิตได้ปรับปรุงเทคโนโลยีนี้อย่างต่อเนื่อง พารามิเตอร์ของฟีดทรูที่สามารถปรับเปลี่ยนได้ ได้แก่ การกำหนดค่าการติดตั้ง เฟอร์โรฟลูอิดที่ใช้เฉพาะ แบริ่งชนิดและตำแหน่ง และขนาดเพลา ซึ่งช่วยให้สามารถสร้างโซลูชันที่ปรับแต่งได้ตามความต้องการเฉพาะของระบบ

การประยุกต์ใช้ในระบบประสิทธิภาพสูง

ระบบ PECVD และ CVD เป็นพื้นที่การใช้งานหลักสำหรับฟีดทรูเหล่านี้ อุตสาหกรรมยังคงผลักดันขอบเขตของเทคโนโลยีการซีลเพื่อตอบสนองความต้องการที่เปลี่ยนแปลงไป ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV) บางระบบใช้เทคโนโลยีการเชื่อมต่อแม่เหล็กขั้นสูงแทนของเหลว อย่างไรก็ตาม สำหรับการใช้งาน CVD มาตรฐานและสุญญากาศสูงหลายประเภท ฟีดทรูแม่เหล็กเหลวยังคงเป็นตัวเลือกที่พบได้ทั่วไป การออกแบบเพลากลวงมีประโยชน์อย่างยิ่งสำหรับการส่งผ่านสาธารณูปโภค เช่น สายไฟฟ้าหรือท่อทำความเย็นผ่านศูนย์กลางของเพลาหมุน

การเลือกระหว่างฟีดทรูแม่เหล็กเหลวและไดรฟ์เชื่อมต่อแม่เหล็กมักขึ้นอยู่กับระดับสุญญากาศและข้อกำหนดแรงบิดที่เฉพาะเจาะจง การซีลแม่เหล็กเหลวนำเสนอโซลูชันไดรฟ์ตรงที่ได้รับการพิสูจน์แล้ว ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมมานานหลายทศวรรษ โดยทีมงานมักมีประสบการณ์วิชาชีพโดยตรงอย่างน้อยหนึ่งทศวรรษในการผลิตและการประยุกต์ใช้ เมื่อผลิตภัณฑ์มาตรฐานไม่เหมาะสม โซลูชันที่ปรับแต่งได้มักมีให้ผ่านการปรึกษาโดยตรงกับผู้เชี่ยวชาญ