Ống xuyên trục rỗng từ tính dẫn lưu chất trong thiết bị PECVD và CVD

Truyền chuyển động vào buồng chân không

Trong thiết bị PECVD và CVD, việc tạo màng mỏng đòi hỏi chuyển động cơ học chính xác bên trong buồng chân không. Ống xuyên trục rỗng từ tính dẫn lưu chất cung cấp một phương pháp cho việc này. Đây là một loại ống xuyên quay từ tính dẫn lưu chất cho các ứng dụng chân không. Cơ chế cốt lõi sử dụng ferrofluid làm phần tử làm kín, tạo thành một vòng đệm động, kín khí xung quanh trục quay. Hệ thống này truyền chuyển động quay vào buồng chân không mà không phá vỡ tính toàn vẹn của vòng đệm.

Khái niệm cơ bản cho các vòng đệm này được tiên phong vào những năm 1970. Các kỹ sư đã tạo ra một vòng đệm lỏng quanh trục quay bằng ferrofluid, cấp bằng sáng chế cho các phiên bản thương mại đầu tiên. Trong hơn bốn mươi năm, các nhóm thiết kế và sản xuất đã tinh chỉnh công nghệ này. Các thông số ống xuyên có thể được sửa đổi bao gồm cấu hình lắp đặt, ferrofluid cụ thể được sử dụng, loại và vị trí vòng bi, và kích thước trục. Điều này cho phép các giải pháp tùy chỉnh để đáp ứng yêu cầu hệ thống cụ thể.

Ứng dụng trong các hệ thống hiệu suất cao

Các hệ thống PECVD và CVD đại diện cho một lĩnh vực ứng dụng chính cho các ống xuyên này. Ngành công nghiệp tiếp tục đẩy ranh giới của công nghệ làm kín để đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng. Trong môi trường chân không siêu cao (UHV), một số hệ thống sử dụng công nghệ khớp nối từ tính tiên tiến thay vì chất lỏng. Tuy nhiên, đối với nhiều ứng dụng CVD tiêu chuẩn và chân không cao, ống xuyên từ tính dẫn lưu chất vẫn là lựa chọn phổ biến. Thiết kế trục rỗng của chúng đặc biệt hữu ích để truyền các tiện ích như dây điện hoặc đường làm mát qua tâm trục quay.

Việc lựa chọn giữa ống xuyên từ tính dẫn lưu chất và truyền động khớp nối từ tính thường phụ thuộc vào mức chân không cụ thể và yêu cầu mô-men xoắn. Vòng đệm từ tính dẫn lưu chất cung cấp một giải pháp truyền động trực tiếp đã được chứng minh. Chúng đã được thiết kế trong nhiều thập kỷ, với các nhóm thường có ít nhất một thập kỷ kinh nghiệm chuyên môn trực tiếp trong sản xuất và ứng dụng. Khi một sản phẩm tiêu chuẩn không phù hợp, một giải pháp tùy chỉnh thường có sẵn thông qua tư vấn trực tiếp với chuyên gia.