2026-10-26 Artículo original
En la fabricación de semiconductores, se requieren sellos de vacío para varios procesos. Los informes del sector señalan su función específica tanto en la Deposición Química en Fase Vapor (CVD) como en la Deposición Física en Fase Vapor (PVD). En la CVD, los sellos mantienen el vacío en la cámara de reacción. Esto permite que se forme una película delgada de manera uniforme sobre una oblea. Los sellos también permiten la rotación de la oblea dentro de la cámara. En los procesos de PVD, los sellos desempeñan una función similar. Se utilizan para mantener el entorno controlado necesario para una deposición precisa de películas delgadas.
El uso de estos sellos se extiende más allá del procesamiento básico de obleas de semiconductores. Las áreas de aplicación documentadas incluyen hornos de silicio monocristalino, donde preservan la integridad del vacío en procesos de alta temperatura. También se integran en sistemas para la producción de Pantallas Planas (FPD), apoyando procesos libres de contaminación para la fabricación de pantallas. Dentro de los sistemas de deposición, a menudo son un componente de portasustratos rotatorios, de altura ajustable y de inclinación ajustable. Esta flexibilidad mecánica es necesaria para la fabricación innovadora de películas delgadas utilizadas en células solares, baterías y dispositivos microelectrónicos.