2026-10-26 Artigo Original
Na fabricação de semicondutores, vedações de vácuo são necessárias para diversos processos. Relatórios do setor destacam sua função específica tanto na Deposição Química em Fase Vapor (CVD) quanto na Deposição Física em Fase Vapor (PVD). Na CVD, as vedações mantêm o vácuo na câmara de reação. Isso permite que um filme fino se forme uniformemente sobre a pastilha. As vedações também possibilitam a rotação da pastilha dentro da câmara. Nos processos de PVD, as vedações desempenham função semelhante. Elas são utilizadas para manter o ambiente controlado necessário à deposição precisa de filmes finos.
O uso dessas vedações vai além do processamento básico de pastilhas semicondutoras. As áreas de aplicação documentadas incluem fornos de silício monocristalino, onde preservam a integridade do vácuo em processos de alta temperatura. Elas também são integradas em sistemas de produção de Painéis de Tela Plana (FPD), apoiando processos livres de contaminação para a fabricação de displays. Dentro dos sistemas de deposição, frequentemente são um componente de suportes de substrato rotativos, com altura ajustável e inclinação ajustável. Essa flexibilidade mecânica é necessária para a fabricação inovadora de filmes finos usados em células solares, baterias e dispositivos microeletrônicos.