2026-08-10 المقال الأصلي
التحدي الأساسي في معالجة التفريغ هو إدخال حركة دورانية دون المساس بسلامة الحجرة. تشكل الأختام الميكانيكية التقليدية مخاطر تسرب. يعالج اختراق التفريغ الفيروفلويدي ثنائي المحور هذه المشكلة عن طريق استبدال الأختام الديناميكية بهيكل ختم ثابت. وفقًا لتحليل براءات الاختراع، يستخدم هذا النهج اقترانًا مغناطيسيًا لدفع عمود دوران المفاعل. ينقل الطاقة الحركية دون تلامس، معزولًا آلية الدفع عن حجرة عمل المواد. يُذكر أن هذا الهيكل يحل مشاكل التسرب المرتبطة بالأختام الميكانيكية الديناميكية وأختام الحشو تمامًا.
تستخدم هذه الاختراقات حلقات متعددة من الفيروفلويد محتواة في مراحل. تتشكل المراحل بواسطة أخاديد مشغولة إما في العمود أو في قطع الأقطاب. تولد المغناطيسات الدائمة المجال الذي يحتوي السائل. تساعد طريقة الختم غير الملامسة هذه في تقليل التآكل وتوليد الجسيمات، وهو أمر مهم للحفاظ على بيئات تفريغ نظيفة. مع استخدام المغناطيسات الدائمة، يكون عمر التشغيل ودورات صيانة المعدات طويلة جدًا بشكل عام. تم تطوير هذه التقنية لأكثر من 30 عامًا وتُستخدم على نطاق واسع في أنظمة التفريغ لصناعات أشباه الموصلات وFPD.