2026-08-10 Artigo Original
Um desafio principal no processamento a vácuo é introduzir movimento rotativo sem comprometer a integridade da câmara. Selos mecânicos tradicionais apresentam riscos de vazamento. O alimentador de vácuo de fluido ferroso de eixo duplo aborda isso substituindo selos dinâmicos por uma estrutura de vedação estática. De acordo com a análise de patentes, essa abordagem usa acoplamento magnético para acionar o eixo rotativo de um reator. Ele transmite energia cinética sem contato, isolando o mecanismo de acionamento da câmara de trabalho do material. Essa estrutura é relatada para resolver completamente problemas de vazamento associados a selos mecânicos dinâmicos e selos de empanque.
Esses alimentadores utilizam múltiplos anéis de fluido ferroso contidos em estágios. Os estágios são formados por ranhuras usinadas no eixo ou nas peças polares. Ímãs permanentes geram o campo que contém o fluido. Esse método de vedação sem contato ajuda a reduzir o desgaste e a geração de partículas, o que é importante para manter ambientes de vácuo limpos. Com o uso de ímãs permanentes, a vida útil operacional e os ciclos de manutenção do equipamento são geralmente muito longos. A tecnologia foi desenvolvida há mais de 30 anos e é amplamente utilizada em sistemas de vácuo para as indústrias de semicondutores e FPD.