2026-08-10 Оригинал статьи
Основная проблема при вакуумной обработке — введение вращательного движения без нарушения целостности камеры. Традиционные механические уплотнения создают риск утечек. Двухосевой ферромагнитный вакуумный ввод решает эту задачу, заменяя динамические уплотнения статической уплотнительной конструкцией. Согласно патентному анализу, этот подход использует магнитную муфту для привода вращающегося вала реактора. Он передает кинетическую энергию без контакта, изолируя приводной механизм от рабочей камеры с материалом. Сообщается, что такая конструкция полностью решает проблемы утечек, связанные с механическими динамическими уплотнениями и сальниковыми уплотнениями.
Эти вводы используют несколько колец ферромагнитной жидкости, размещенных в ступенях. Ступени образованы канавками, прорезанными либо в валу, либо в полюсных наконечниках. Постоянные магниты создают поле, удерживающее жидкость. Этот бесконтактный метод уплотнения помогает снизить износ и образование частиц, что важно для поддержания чистоты вакуумной среды. Благодаря использованию постоянных магнитов срок службы и межсервисные интервалы оборудования обычно очень велики. Технология разрабатывается более 30 лет и широко применяется в вакуумных системах для полупроводниковой и FPD-промышленности.