2026-08-10 บทความต้นฉบับ
ความท้าทายหลักในกระบวนการสุญญากาศคือการนำการเคลื่อนที่แบบหมุนเข้ามาโดยไม่กระทบต่อความสมบูรณ์ของห้องสุญญากาศ ซีลเชิงกลแบบดั้งเดิมมีความเสี่ยงต่อการรั่วไหล ตัวส่งผ่านสุญญากาศเฟอร์โรฟลูอิดแบบเพลาคู่ช่วยแก้ปัญหานี้โดยการแทนที่ซีลแบบไดนามิกด้วยโครงสร้างการซีลแบบคงที่ ตามการวิเคราะห์สิทธิบัตร วิธีการนี้ใช้การเชื่อมต่อด้วยแม่เหล็กเพื่อขับเคลื่อนเพลาหมุนของเครื่องปฏิกรณ์ โดยส่งพลังงานจลน์โดยไม่มีการสัมผัส แยกกลไกการขับเคลื่อนออกจากห้องทำงานของวัสดุ โครงสร้างนี้ได้รับการรายงานว่าสามารถแก้ปัญหาการรั่วไหลที่เกี่ยวข้องกับซีลเชิงกลแบบไดนามิกและซีลแบบบรรจุได้อย่างสมบูรณ์
ตัวส่งผ่านเหล่านี้ใช้เฟอร์โรฟลูอิดหลายวงที่บรรจุอยู่ในขั้นต่างๆ ขั้นเหล่านี้เกิดจากร่องที่กลึงบนเพลาหรือชิ้นส่วนขั้วแม่เหล็ก แม่เหล็กถาวรสร้างสนามแม่เหล็กที่กักเก็บของเหลวไว้ วิธีการซีลแบบไม่สัมผัสนี้ช่วยลดการสึกหรอและการเกิดอนุภาค ซึ่งสำคัญต่อการรักษาสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่สะอาด ด้วยการใช้แม่เหล็กถาวร อายุการใช้งานและรอบการบำรุงรักษาอุปกรณ์โดยทั่วไปจึงยาวนานมาก เทคโนโลยีนี้ได้รับการพัฒนามานานกว่า 30 ปีและถูกใช้อย่างแพร่หลายในระบบสุญญากาศสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และ FPD