2026-08-10 Article original
Un défi majeur dans le traitement sous vide est d'introduire un mouvement rotatif sans compromettre l'intégrité de la chambre. Les joints mécaniques traditionnels présentent des risques de fuite. La traversée à vide à ferrofluide à double arbre répond à ce problème en remplaçant les joints dynamiques par une structure d'étanchéité statique. Selon l'analyse des brevets, cette approche utilise un couplage magnétique pour entraîner l'arbre rotatif d'un réacteur. Elle transmet l'énergie cinétique sans contact, isolant le mécanisme d'entraînement de la chambre de travail du matériau. Cette structure est réputée résoudre complètement les problèmes de fuite associés aux joints mécaniques dynamiques et aux presse-étoupes.
Ces traversées utilisent plusieurs anneaux de ferrofluide contenus dans des étages. Les étages sont formés par des rainures usinées soit dans l'arbre, soit dans les pièces polaires. Des aimants permanents génèrent le champ qui contient le fluide. Cette méthode d'étanchéité sans contact aide à réduire l'usure et la génération de particules, ce qui est important pour maintenir des environnements sous vide propres. Avec l'utilisation d'aimants permanents, la durée de vie opérationnelle et les cycles de maintenance des équipements sont généralement très longs. Cette technologie est développée depuis plus de 30 ans et est largement utilisée dans les systèmes sous vide pour les industries des semi-conducteurs et des écrans plats (FPD).