2026-08-10 原文链接
真空处理中的一个主要挑战是如何在不损害腔体完整性的前提下引入旋转运动。传统的机械密封存在泄漏风险。双轴铁磁流体真空馈入装置通过用静态密封结构替代动态密封来解决这一问题。根据专利分析，这种方法利用磁耦合驱动反应器的旋转轴，无需接触即可传递动能，将驱动机构与物料工作腔隔离。据报道，这种结构能彻底解决机械动态密封和填料密封相关的泄漏问题。
这些馈入装置利用多级铁磁流体环，这些级由轴或极靴上加工的沟槽形成。永磁体产生容纳流体的磁场。这种非接触式密封方法有助于减少磨损和颗粒产生，这对于维持清洁的真空环境非常重要。由于使用永磁体，设备的工作寿命和维护周期通常非常长。该技术已发展超过30年，广泛应用于半导体和FPD行业的真空系统中。