2026-08-10 Origineel artikel
Een primaire uitdaging bij vacuümprocessen is het introduceren van roterende beweging zonder de integriteit van de kamer aan te tasten. Traditionele mechanische afdichtingen vormen een lekrisico. De dual axle ferrofluid vacuum feedthrough pakt dit aan door dynamische afdichtingen te vervangen door een statische afdichtingsstructuur. Volgens octrooianalyse maakt deze aanpak gebruik van magnetische koppeling om de roterende as van een reactor aan te drijven. Het draagt kinetische energie over zonder contact, waardoor het aandrijfmechanisme wordt geïsoleerd van de materiaalwerkkamer. Deze structuur zou lekkageproblemen die gepaard gaan met mechanische dynamische afdichtingen en pakkingafdichtingen volledig oplossen.
Deze doorvoeren maken gebruik van meerdere ringen ferrofluid die in trappen zijn ondergebracht. De trappen worden gevormd door groeven die in de as of de poolstukken zijn gefreesd. Permanente magneten genereren het veld dat de vloeistof bevat. Deze contactloze afdichtingsmethode helpt slijtage en deeltjesvorming te verminderen, wat belangrijk is voor het handhaven van schone vacuümomgevingen. Met het gebruik van permanente magneten zijn de operationele levensduur en onderhoudscycli van apparatuur over het algemeen zeer lang. De technologie is al meer dan 30 jaar in ontwikkeling en wordt veel gebruikt in vacuümsystemen voor de halfgeleider- en FPD-industrie.