2026-08-10 Artikel Asli
Tantangan utama dalam pemrosesan vakum adalah memasukkan gerakan rotasi tanpa mengorbankan integritas ruang. Segel mekanis tradisional menimbulkan risiko kebocoran. Dual axle ferrofluid vacuum feedthrough mengatasi hal ini dengan mengganti segel dinamis dengan struktur penyegelan statis. Menurut analisis paten, pendekatan ini menggunakan kopling magnetik untuk menggerakkan poros berputar reaktor. Energi kinetik ditransmisikan tanpa kontak, mengisolasi mekanisme penggerak dari ruang kerja material. Struktur ini dilaporkan sepenuhnya menyelesaikan masalah kebocoran yang terkait dengan segel dinamis mekanis dan segel packing.
Feedthrough ini menggunakan beberapa cincin ferrofluid yang ditempatkan dalam tahapan. Tahapan tersebut dibentuk oleh alur yang dibuat pada poros atau pole piece. Magnet permanen menghasilkan medan yang menahan fluida. Metode penyegelan tanpa kontak ini membantu mengurangi keausan dan pembentukan partikel, yang penting untuk menjaga lingkungan vakum yang bersih. Dengan penggunaan magnet permanen, masa pakai operasional dan siklus pemeliharaan peralatan umumnya sangat panjang. Teknologi ini telah dikembangkan selama lebih dari 30 tahun dan banyak digunakan dalam sistem vakum untuk industri semikonduktor dan FPD.