2026-08-10 Artículo original
Un desafío principal en el procesamiento al vacío es introducir movimiento rotativo sin comprometer la integridad de la cámara. Los sellos mecánicos tradicionales presentan riesgos de fugas. El paso de vacío de fluido ferro magnético de doble eje aborda esto reemplazando los sellos dinámicos con una estructura de sellado estático. Según el análisis de patentes, este enfoque utiliza acoplamiento magnético para impulsar el eje giratorio de un reactor. Transmite energía cinética sin contacto, aislando el mecanismo de accionamiento de la cámara de trabajo del material. Se informa que esta estructura resuelve por completo los problemas de fugas asociados con los sellos mecánicos dinámicos y los sellos de empaque.
Estos pasos utilizan múltiples anillos de fluido ferro magnético contenidos en etapas. Las etapas están formadas por ranuras mecanizadas en el eje o en las piezas polares. Los imanes permanentes generan el campo que contiene el fluido. Este método de sellado sin contacto ayuda a reducir el desgaste y la generación de partículas, lo cual es importante para mantener entornos de vacío limpios. Con el uso de imanes permanentes, la vida útil y los ciclos de mantenimiento del equipo son generalmente muy largos. La tecnología se ha desarrollado durante más de 30 años y se utiliza ampliamente en sistemas de vacío para las industrias de semiconductores y FPD.