2026-08-10 Bài viết gốc
Một thách thức chính trong xử lý chân không là đưa chuyển động quay vào mà không làm tổn hại đến tính toàn vẹn của buồng. Các loại làm kín cơ khí truyền thống tiềm ẩn nguy cơ rò rỉ. Đầu xuyên chân không ferrofluid trục đôi giải quyết vấn đề này bằng cách thay thế các làm kín động bằng cấu trúc làm kín tĩnh. Theo phân tích bằng sáng chế, phương pháp này sử dụng khớp nối từ để dẫn động trục quay của lò phản ứng. Nó truyền động năng mà không tiếp xúc, cách ly cơ cấu dẫn động khỏi buồng làm việc chứa vật liệu. Cấu trúc này được báo cáo là giải quyết hoàn toàn các vấn đề rò rỉ liên quan đến làm kín động cơ khí và làm kín đệm.
Các đầu xuyên này sử dụng nhiều vòng ferrofluid được chứa theo từng tầng. Các tầng được tạo thành bởi các rãnh được gia công trên trục hoặc trên các miếng cực. Nam châm vĩnh cửu tạo ra từ trường giữ chất lỏng. Phương pháp làm kín không tiếp xúc này giúp giảm mài mòn và phát sinh hạt, điều quan trọng để duy trì môi trường chân không sạch. Nhờ sử dụng nam châm vĩnh cửu, tuổi thọ vận hành và chu kỳ bảo trì thiết bị thường rất dài. Công nghệ này đã được phát triển hơn 30 năm và được sử dụng rộng rãi trong các hệ thống chân không cho ngành công nghiệp bán dẫn và FPD.