2026-08-10 원문 기사
진공 공정에서의 주요 과제는 챔버의 무결성을 손상시키지 않으면서 회전 운동을 도입하는 것입니다. 기존의 기계적 실은 누출 위험을 제시합니다. 이중 축 자성유체 진공 피드스루는 동적 실을 정적 실링 구조로 대체하여 이 문제를 해결합니다. 특허 분석에 따르면, 이 접근 방식은 자기 커플링을 사용하여 반응기의 회전축을 구동합니다. 접촉 없이 운동 에너지를 전달하여 구동 메커니즘을 재료 작업 챔버로부터 분리합니다. 이 구조는 기계적 동적 실 및 패킹 실과 관련된 누출 문제를 완전히 해결하는 것으로 보고됩니다.
이러한 피드스루는 단계에 포함된 다중 링의 자성유체를 활용합니다. 단계는 샤프트 또는 폴 피스에 가공된 홈에 의해 형성됩니다. 영구 자석은 유체를 포함하는 필드를 생성합니다. 이 비접촉 실링 방법은 마모 및 입자 생성을 줄이는 데 도움이 되며, 이는 깨끗한 진공 환경을 유지하는 데 중요합니다. 영구 자석을 사용함으로써 작동 수명과 장비 유지보수 주기는 일반적으로 매우 깁니다. 이 기술은 30년 이상 개발되어 왔으며 반도체 및 FPD 산업의 진공 시스템에서 널리 사용됩니다.