ما الذي يتغير عندما يدخل سائل مغناطيسي جديد إلى أختام معدات CVD

تحدي الإحكام في CVD وPECVD

تتطلب معدات الترسيب الكيميائي للبخار والترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما نقل حركة دورانية دقيقة إلى غرفة التفريغ. وهذا يستلزم ختم تفريغ دوراني موثوق. تُعدّ منافذ التغذية بالسوائل المغناطيسية، التي تستخدم السائل المغناطيسي كآلية إحكام، حلاً شائعاً. ويجب أن تحافظ على سلامة الإحكام في بيئات التفريغ العالي، غالباً أفضل من 10^-9 ميلي بار، وأن تتحمل بيئات الغازات النشطة عند درجات حرارة مرتفعة. تاريخياً، حدّت ظاهرة انطلاق الغازات وتدهور السائل عند درجات الحرارة المرتفعة من عمر الختم في تطبيقات CVD معينة.

التصميم والتكامل مع التطبيقات

يوفر تصميم جسم سنّ التركيب الصامولي واجهة ميكانيكية لدمج هذه الأختام في أنظمة المفاعلات. وفي تصنيع أشباه الموصلات، تُستخدم هذه الأختام في أفران السيليكون أحادي البلورة وأنظمة CVD للحفاظ على بيئة خالية من التسرب. كما تُطبَّق في معدات PVD لترسيب الأغشية الرقيقة وفي إنتاج شاشات العرض المسطحة لعمليات خالية من التلوث. ويتيح التصميم إمكانية الصيانة والاستبدال، وهو أمر مهم لتقليل وقت توقف المعدات.

نوفر مجموعة من منافذ التغذية والأختام المصممة لهذه البيئات الصناعية الصعبة.