2026-09-05 मूल लेख
रासायनिक वाष्प जमाव और प्लाज्मा-संवर्धित CVD उपकरणों में सटीक घूर्णी गति को निर्वात कक्ष में संचारित करने की आवश्यकता होती है। इसके लिए एक विश्वसनीय घूर्णी निर्वात सील की आवश्यकता होती है। फेरोफ्लुइड फीडथ्रू, जो सीलिंग तंत्र के रूप में चुंबकीय तरल पदार्थ का उपयोग करते हैं, एक सामान्य समाधान हैं। उन्हें उच्च निर्वात में सील की अखंडता बनाए रखनी होती है, जो अक्सर 10^-9 mbar से बेहतर होती है, और ऊंचे तापमान पर सक्रिय गैस वातावरण का सामना करना पड़ता है। ऐतिहासिक रूप से, उच्च तापमान पर आउटगैसिंग और तरल पदार्थ का क्षरण कुछ CVD अनुप्रयोगों में सील के जीवनकाल को सीमित करता था।
नट माउंटिंग थ्रेड बॉडी डिजाइन इन सीलों को रिएक्टर सिस्टम में एकीकृत करने के लिए एक यांत्रिक इंटरफेस प्रदान करता है। अर्धचालक निर्माण में, इन सीलों का उपयोग सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन भट्टियों और CVD सिस्टम में लीक-मुक्त वातावरण बनाए रखने के लिए किया जाता है। इन्हें पतली फिल्म जमाव के लिए PVD उपकरणों में और फ्लैट पैनल डिस्प्ले उत्पादन में संदूषण-मुक्त प्रक्रियाओं के लिए भी लागू किया जाता है। यह डिजाइन रखरखाव और प्रतिस्थापन को सक्षम बनाता है, जो टूल डाउनटाइम को कम करने के लिए महत्वपूर्ण है।
हम इन मांगलिक औद्योगिक वातावरणों के लिए डिज़ाइन किए गए फीडथ्रू और सील की एक श्रृंखला प्रदान करते हैं।