2026-09-05 Origineel artikel
Chemische dampdepositie en plasma-versterkte CVD-apparatuur vereisen een nauwkeurige roterende beweging die in een vacuümkamer wordt overgebracht. Dit vraagt om een betrouwbare roterende vacuümafdichting. Ferrofluid-doorvoeren, die magnetische vloeistof als afdichtingsmechanisme gebruiken, zijn een gangbare oplossing. Ze moeten de afdichtingsintegriteit behouden in hoge vacuüms, vaak beter dan 10^-9 mbar, en bestand zijn tegen actieve gasomgevingen bij verhoogde temperaturen. Historisch gezien beperkten outgassing en vloeistofdegradatie bij hoge temperaturen de levensduur van de afdichting in bepaalde CVD-toepassingen.
Het moerbevestigingsschroefdraadlichaamontwerp biedt een mechanische interface voor het integreren van deze afdichtingen in reactorsystemen. In de halfgeleiderproductie worden deze afdichtingen gebruikt in eenkristal-siliciumovens en CVD-systemen om een lek-vrije omgeving te handhaven. Ze worden ook toegepast in PVD-apparatuur voor dunnefilmdepositie en in de productie van flat panel displays voor contaminatievrije processen. Het ontwerp maakt onderhoud en vervanging mogelijk, wat belangrijk is om stilstand van apparatuur te minimaliseren.
Wij leveren een reeks doorvoeren en afdichtingen die zijn ontworpen voor deze veeleisende industriële omgevingen.