2026-09-05 Bài viết gốc
Thiết bị lắng đọng hơi hóa học và CVD tăng cường plasma yêu cầu truyền chuyển động quay chính xác vào buồng chân không. Điều này đòi hỏi một con dấu chân không quay đáng tin cậy. Các đầu xuyên ferrofluid, sử dụng chất lỏng từ tính làm cơ chế làm kín, là một giải pháp phổ biến. Chúng phải duy trì tính toàn vẹn của con dấu trong chân không cao, thường tốt hơn 10^-9 mbar, và chịu được môi trường khí hoạt động ở nhiệt độ cao. Trước đây, sự thoát khí và suy giảm chất lỏng ở nhiệt độ cao đã hạn chế tuổi thọ con dấu trong một số ứng dụng CVD nhất định.
Thiết kế thân ren lắp đai ốc cung cấp giao diện cơ học để tích hợp các con dấu này vào hệ thống lò phản ứng. Trong sản xuất bán dẫn, các con dấu này được sử dụng trong lò silicon đơn tinh thể và hệ thống CVD để duy trì môi trường không rò rỉ. Chúng cũng được áp dụng trong thiết bị PVD để lắng đọng màng mỏng và trong sản xuất màn hình phẳng để có quy trình không nhiễm bẩn. Thiết kế cho phép bảo trì và thay thế, điều này quan trọng để giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động của thiết bị.
Chúng tôi cung cấp một loạt các đầu xuyên và con dấu được thiết kế cho các môi trường công nghiệp khắt khe này.