2026-09-05 Artículo original
Los equipos de deposición química de vapor y de CVD mejorado por plasma requieren transmitir un movimiento rotatorio preciso hacia el interior de una cámara de vacío. Esto exige un sellado rotatorio de vacío fiable. Los pasamuros de ferrofluido, que utilizan fluido magnético como mecanismo de sellado, son una solución habitual. Deben mantener la integridad del sellado en vacíos elevados, a menudo mejores que 10^-9 mbar, y soportar entornos de gases activos a temperaturas elevadas. Históricamente, la desgasificación y la degradación del fluido a altas temperaturas limitaban la vida útil del sello en ciertas aplicaciones de CVD.
El diseño del cuerpo con rosca de montaje mediante tuerca proporciona una interfaz mecánica para integrar estos sellos en sistemas de reactor. En la fabricación de semiconductores, estos sellos se emplean en hornos de silicio monocristalino y en sistemas CVD para mantener un entorno libre de fugas. También se aplican en equipos PVD para la deposición de películas delgadas y en la producción de pantallas planas para procesos libres de contaminación. El diseño permite el mantenimiento y la sustitución, lo cual es importante para minimizar el tiempo de inactividad de la herramienta.
Ofrecemos una gama de pasamuros y sellos diseñados para estos exigentes entornos industriales.