2026-09-05 Article original
Les équipements de dépôt chimique en phase vapeur et de CVD assisté par plasma nécessitent la transmission d'un mouvement rotatif précis dans une chambre à vide. Cela exige un joint rotatif à vide fiable. Les traversées à ferrofluide, qui utilisent un fluide magnétique comme mécanisme d'étanchéité, constituent une solution courante. Elles doivent maintenir l'intégrité de l'étanchéité sous vide poussé, souvent meilleur que 10^-9 mbar, et résister à des environnements de gaz actifs à des températures élevées. Historiquement, le dégazage et la dégradation du fluide à haute température limitaient la durée de vie des joints dans certaines applications CVD.
La conception du corps à filetage de montage par écrou offre une interface mécanique permettant d'intégrer ces joints dans les systèmes de réacteurs. Dans la fabrication de semi-conducteurs, ces joints sont utilisés dans les fours à silicium monocristallin et les systèmes CVD pour maintenir un environnement exempt de fuites. Ils sont également employés dans les équipements PVD pour le dépôt de couches minces et dans la production d'écrans plats pour des procédés sans contamination. La conception permet la maintenance et le remplacement, ce qui est essentiel pour minimiser les temps d'arrêt des équipements.
Nous proposons une gamme de traversées et de joints conçus pour ces environnements industriels exigeants.