2026-09-05 Orijinal Makale
Kimyasal buhar biriktirme ve plazma destekli CVD ekipmanları, bir vakum odasına hassas döner hareketin iletilmesini gerektirir. Bu, güvenilir bir döner vakum sızdırmazlığı gerektirir. Sızdırmazlık mekanizması olarak manyetik sıvı kullanan ferrofluid geçişleri yaygın bir çözümdür. Genellikle 10^-9 mbar'dan daha iyi olan yüksek vakumlarda sızdırmazlık bütünlüğünü korumalı ve yüksek sıcaklıklarda aktif gaz ortamlarına dayanmalıdır. Tarihsel olarak, yüksek sıcaklıklarda gaz salınımı ve sıvı bozunması belirli CVD uygulamalarında conta ömrünü sınırlamıştır.
Somun montaj dişli gövde tasarımı, bu contaların reaktör sistemlerine entegre edilmesi için mekanik bir arayüz sağlar. Yarı iletken üretiminde, bu contalar sızdırmaz bir ortamı korumak için tek kristal silikon fırınlarında ve CVD sistemlerinde kullanılır. Ayrıca ince film biriktirme için PVD ekipmanlarında ve kirlilik içermeyen süreçler için düz panel ekran üretiminde uygulanırlar. Tasarım, bakım ve değiştirmeyi mümkün kılar; bu da ekipman duruş süresini en aza indirmek için önemlidir.
Bu zorlu endüstriyel ortamlar için tasarlanmış bir dizi geçiş ve conta sunuyoruz.