2026-09-05 Оригинал статьи
Оборудование для химического осаждения из газовой фазы и плазмохимического осаждения требует точной передачи вращательного движения в вакуумную камеру. Для этого необходимо надежное вращающееся вакуумное уплотнение. Феррожидкостные вводы, в которых в качестве уплотняющего механизма используется магнитная жидкость, являются распространенным решением. Они должны сохранять герметичность в условиях высокого вакуума, часто лучше 10^-9 мбар, и выдерживать воздействие активных газовых сред при повышенных температурах. Исторически газовыделение и деградация жидкости при высоких температурах ограничивали срок службы уплотнений в некоторых применениях CVD.
Конструкция корпуса с резьбой для гаечного крепления обеспечивает механический интерфейс для интеграции этих уплотнений в реакторные системы. В производстве полупроводников такие уплотнения используются в печах для выращивания монокристаллического кремния и системах CVD для поддержания герметичной среды. Они также применяются в оборудовании для PVD при осаждении тонких пленок и в производстве плоскопанельных дисплеев для процессов без загрязнений. Конструкция допускает обслуживание и замену, что важно для минимизации простоев оборудования.
Мы поставляем ряд вводов и уплотнений, разработанных для этих требовательных промышленных сред.